Radioelektronikos terminų žodynas. – Vilnius : BĮ UAB „Litimo“. Kazimieras Gaivenis, Gytis Juška, Vidas Kalesinskas. 2000.
Plasma-Ätzen — Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleitertechnik, Mikrostrukturtechnologie und in der Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen… … Deutsch Wikipedia
Plasmaätzen — ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleiter , Mikrosystem und Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen ist ein eher umgangssprachlicher Begriff … Deutsch Wikipedia
RIE-Prozess — Plasmaätzen ist ein materialabtragendes, plasmaunterstütztes, gaschemisches Trockenätz Verfahren, das besonders in der Halbleitertechnik, Mikrostrukturtechnologie und in der Displaytechnik großtechnisch eingesetzt wird. Der Begriff Plasmaätzen… … Deutsch Wikipedia
chambre de décapage — ėsdinimo kamera statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. etch chamber vok. Ätzkammer, f rus. камера для травления, f; травильная камера, f pranc. chambre de décapage, f … Radioelektronikos terminų žodynas
etch chamber — ėsdinimo kamera statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. etch chamber vok. Ätzkammer, f rus. камера для травления, f; травильная камера, f pranc. chambre de décapage, f … Radioelektronikos terminų žodynas
ėsdinimo kamera — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. etch chamber vok. Ätzkammer, f rus. камера для травления, f; травильная камера, f pranc. chambre de décapage, f … Radioelektronikos terminų žodynas
камера для травления — ėsdinimo kamera statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. etch chamber vok. Ätzkammer, f rus. камера для травления, f; травильная камера, f pranc. chambre de décapage, f … Radioelektronikos terminų žodynas
травильная камера — ėsdinimo kamera statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. etch chamber vok. Ätzkammer, f rus. камера для травления, f; травильная камера, f pranc. chambre de décapage, f … Radioelektronikos terminų žodynas
